专利摘要显示，本申请提供了一种用于检测角速度的装置、方法和系统，属于微机电系统MEMS传感器、惯性器件技术领域，以实现对多轴角速度的检测坩埚。该装置包括：第一检测单元、第二检测单元、第三检测单元、第四检测单元和弹性耦合单元。弹性耦合单元用于产生四波腹运动，当外界角速度输入装置时，检测单元能够在沿第三轴发生第一位移时输出第一信号，第一位移用于确定角速度的大小。本申请所揭示的装置，通过弹性耦合单元的四波腹运动，耦合四个检测单元实现平面内正交两个方向的线运动，能够实现多轴角速度的检测腾锋五金工具，同时四个检测单元两两中心对称分布，有助于提高集成度冲击激励、灵敏度反作用力、水平双轴性能的一致性，降低交叉轴耦合误差。